书籍详情
薄膜生长技术
作者：金克新
出版社：科学出版社
出版时间：2023-11-01
ISBN：9787030766335
定价：¥118.00
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内容简介
本书以作者在西北工业大学物理科学与技术学院的“薄膜物理学”课程讲义为蓝本，参考国内外薄膜物理学经典教材，主要论述薄膜物理与薄膜生长技术的基本内容，系统介绍薄膜的形成与生长、物理化学制备薄膜的原理与方法，包括真空蒸发镀膜、溅射镀膜、离子束镀膜、化学气相沉积、脉冲激光分子束外延法等，注重激发学生的学习兴趣，提升学生的学习能力。
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