高数值孔径投影光刻物镜的光学设计

　　《高数值孔径投影光刻物镜的光学设计》共五章。第一章介绍了研究的缘起、意义及国内外研究现状。第二章主要针对高数值孔径投影光刻物镜的光学设计及其相关内容进行讨论， 主要包括： 投影光刻物镜的像质评价与基本设计指标、光学设计初始输入条件、高数值孔径投影光刻物镜的结构形式与设计结果分析、波像差自动平衡算法。第三章主要对高数值孔径投影光刻物镜的偏振像差研究， 包括标量成像与矢量成像、偏振照明与偏振像差、琼斯光瞳奇异值分解。第四章针对高数值孔径投影光刻物镜的像质补偿策略进行研究， 包括一维公差和二维公差。第五章对高数值孔径投影光刻物镜的光学设计及其相关内容做了总结与展望。

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