NEMS传感器的研制与应用

　　《NEMS传感器的研制与应用》概述了NEMS传感器的结构类型、加工工艺类型和常用的测试方案，并对目前国内外NEMS传感器研究取得的研究成果和发展现状进行了总结分析：针对NEMS传感器比较常见的场效应晶体管结构，详细阐述了两种不同的一维纳米结构组装NEMS器件的工艺方法，以及器件电路结构加工工艺等；并将硅纳米线场效应晶体管结构的传感器应用于空气生物气溶胶的在线检测；对NEMS传感器未来的发展方向进行了展望。《NEMS传感器的研制与应用》可供相关科研单位技术人员和大专院校相关专业师生参考。

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