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实用集成电路工艺手册

实用集成电路工艺手册

作者：沈文正等编

出版社：宇航出版社

出版时间：1989-01-01

ISBN：9787800342059

定价：¥12.50

内容简介

　　本书辑录了集成电路制作所涉及的所有工艺，如硅材料、氧化、扩散、光刻与制版、化学气相淀积、钝化技术、净化与清洗、工艺模拟等。

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