书籍详情
硅化物及其在超大规模集成电路中的应用
作者：（美）穆拉尔卡（Murarka，S.P.）著；赵英译
出版社：南开大学出版社
出版时间：1987-06-01
ISBN：9787310000463
定价：¥1.30
内容简介
本书较系统地介绍了各种硅化物，探讨了在超大规模集成电路中作为栅、内部互连线以及线的低电阻接触的可应用性，总结了取得的成果，提出了存在的问题和今后研究的方向。
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