书籍详情
集成电路与等离子体装备
作者：赵晋荣等
出版社：科学出版社
出版时间：2024-06-01
ISBN：9787030775467
定价：¥168.00
购买这本书可以去
内容简介
全书主要介绍了集成电路中与等离子体设备相关的内容，具体包括集成电路简史、分类和发展方向以及面临的挑战，气体放电的基本原理和典型应用、等离子体刻蚀工艺与设备、等离子体表面处理技术与设备、物理气相沉积设备与工艺、等离子体增强化学气相沉积工艺与设备、高密度等离子体化学气相沉积工艺与设备、炉管设备与工艺等。
作者简介
1.国家科技进步二等奖，2009年，排名1；
目录
暂缺《集成电路与等离子体装备》目录
猜您喜欢
