集成光电子器件制造学教学案例

　　集成光电子器件以集成光电子技术为基础，采用与集成电路（Integrated Circuit，IC）制造工艺完全兼容的工艺制造而成，具有光处理与传输功能的器件，是实现大容量、高速率信息传输的关键。“集成光电子器件制造学”是介绍支撑及引导光电子发展的基础学科，本书是其配套学习教材，以案例示教，重在实操，巩固理论学习和加深理解。本书共三篇13个案例，第1篇主要介绍典型无源和有源光电子器件/芯片的设计及其优化，包括平面光波导设计及优化、平面光波导分路器芯片设计及优化、波分复用/解复用芯片和可调光衰减器设计及优化；第2篇主要介绍集成光电子器件的制造技术，包括二氧化硅光子集成技术、绝缘衬上硅光子集成技术、磷化铟光子集成技术和绝缘衬上铌酸锂薄膜光子集成技术；第3篇主要介绍集成光电子器件封装、测试与可靠性，包括光波导芯片与光纤端面耦合封装、硅光子芯片与光纤垂直耦合封装、半导体激光器芯片与光纤耦合封装、硅基光电子器件异质集成、无源光电子器件可靠性测试。

　　国家自然科学基金评审专家，Optik、Optical Fiber Technology等期刊审稿专家。主持和参与国家973项目3项、国家自科基金重点项目3项、国家自科基金项目2项、国家863计划项目2项，其他省部级项目多项。发表学术论文60余篇，SCI收录30余篇，EI收录50余篇；申请发明专名40余项，授权20余项。获省部级技术发明二等奖1项。

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