微纳加工基础技术与方法

　　本书系统介绍了各种精密加工方法.将超精密微加工法和表面加工方法的基础原理和技术做了融合。全书共分为十一章，主要介绍了激光束加工方法、电子束加工方法、离子束加工方法、其他粒子束加工方法、化学刻蚀法、放电加工等基本方法；并介绍了精密加工所涉及的主要表面处理技术，包括表面处理沉淀法、离子束表面处理法、溅射法、化学气相沉积法和精密镀等。本书对传统的加工方法进行了精选，去掉了繁冗的细节，保留了必要的理论基础，并增加了微纳加工技术新工艺及其发展趋势。本书可作为机械制造及其自动化专业的研究生和本科生教材，同时也可供从事机械制造精密加工的工作者和科研人员阅读。

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1 绪论
1.1 微加工技术的发展进程
1.2 发展现状
1.3 技术内涵
1.3.1 加工范畴
1.3.2 加工方法
1.4 微纳加工技术
1.4.1 微纳加工技术现状
1.4.2 微纳加工技术简介
2 激光束加工方法
2.1 激光束加工常用光源
2.2 加工用激光器的种类和光束聚光
2.2.1 振荡器
2.2.2 YAG激光器
2.2.3 CO2激光器
2.2.4 光学谐振腔、横模、聚旋光性
2.2.5 高斯形分布激光束的聚光传播特性
2.2.6 热加工
2.2.7 冷加工
2.3 YAG激光加工
2.3.1 YAG激光器
2.3.2 激光打孔的特点
2.3.3 钻孔用激光束
2.3.4 钻孔现象
2.3.5 聚光光学与加工条件
2.3.6 薄膜加工
2.4 准分子激光加工
2.4.1 准分子激光
2.4.2 高分子材料加工
2.4.3 表面改性
2.4.4 表面改性提高
2.4.5 纳米表面改性
2.4.6 准分子激光加工设备
2.5 激光应用加工
2.5.1 激光辅助加工
2.5.2 激光辅助刻蚀
2.5.3 激光焊接
2.5.4 激光辅助切削铣削加工
2.5.5 超声波激光清洗振动
2.5.6 激光光刻
2.5.7 激光修复
2.5.8 激光图案去除加工
2.5.9 作为修复的激光振荡器
2.5.10 激光附加加工方法
3 电子束加工
3.1 电子束加工原理
3.1.1 产生热量
3.1.2 电子束加工类型
3.1.3 电子束加工的特点
3.2 钻孔