本书共10章，基于公开文献全方位地介绍了低温等离子体蚀刻技术在半导体产业中的应用及潜在发展方向。以低温等离子体蚀刻技术发展史开篇，对传统及已报道的先进等离子体蚀刻技术的基本原理做相应介绍，随后是占据了本书近半篇幅的逻辑和存储器产品中等离子体蚀刻工艺的深度解读。此外，还详述了逻辑产品可靠性及良率与蚀刻工艺的内在联系，聚焦了特殊气体及特殊材料在等离子体蚀刻方面的潜在应用。最后是先进过程控制技术在等离子体蚀刻应用方面的重要性及展望，以及虚拟制造在集成电路发展中的应用。 本书可以作为从事等离子体蚀刻工艺研究和应用的研究生和工程技术人员的参考书籍。

全书共分为上、下两篇，上篇为理论背景，共7章，下篇为试验研究，共5章。上篇从结构动力学理论的介绍开始，用了3章的篇幅对结构自由度、信号处理、模态分析等概念进行了系统的描述，然后再从疲劳的角度出发，引出了单轴和多轴疲劳的概念（第4章、第5章），在第6章，采用结构动力学的模态分析来研究振动疲劳，最后（第7章）对更加复杂的振动情况——非稳态非高斯激励的识别做了介绍。下篇的试验研究部分，主要是对单轴振动疲劳不同试验方法的介绍，如第8章谐振式加速振动疲劳测试、第9章谐振激励与随机激励、第10章疲劳寿命估计的频域方法。多轴振动疲劳用了一章的篇幅（第11章），非稳态与非高斯激励的振动疲劳用了一章的篇幅（第12章）。

随着工程塑料应用领域的不断扩大，工程塑料配方与改性技术在目前塑料加工工业中的应用也越来越广泛和重要。本书立足于生产实际需要，侧重对工程塑料配方进行具体分析，以较为详细的具体实例，介绍通用工程塑料、特种工程塑料的配方组成、加工工艺和材料性能，涵盖聚酰胺、ABS、聚碳酸酯、热塑性聚酯、高强高模聚乙烯、聚甲醛、聚砜、聚芳醚酮、聚苯醚、聚醚醚酮、氟材料、聚苯硫醚等主要工程塑料品种，突出先进性和可操作性。全书内容力求深浅适度，覆盖面广，数据准确，便于读者全面掌握工程塑料配方和改性技术。本书适合工程塑料、塑料行业从事研发、生产、销售和应用的人员阅读和参考，同时可供高等学校高分子材料专业师生使用，也可以作为企业的技术参考书。

《月面自动采样返回探测器技术》是在归纳总结探月三期探测器（“嫦娥”五号飞行试验器和“嫦娥”五号探测器），特别是“嫦娥”五号月面自动采样返回探测器研制工作的基础上撰写完成的，主要内容包括月面自动采样返回探测器的总体设计、主要分系统的设计和验证、总装集成测试技术和试验验证技术等方面。最后对未来月球探测及技术挑战进行了展望。《月面自动采样返回探测器技术》可供从事空间飞行器研究和应用的各类工程技术人员参考，亦可作为高等院校有关专业教师和研究生的教学参考书。

本书概述了微波光子学在雷达和电子战系统中的潜力，包括基本概念和功能，与传统的系统进行性能比较，描述其对数字信号处理的影响，并探索了系统集成问题。并介绍了光子学在雷达和电子战系统中的主要硬件功能，包括光纤中的射频传输、基于光子学的射频信号产生上变频和模数转换下变频等。

《无人机原理、应用与防控》为无人机监测、反制技术教程，主要阐述无人机基本发展概况、飞行技术、飞行特点、基 本结构、监测原理及技术应用、反制原理及技术应用。在此基础上，本书还详细介绍无人机构造、 飞行原理、无人机应用环境与线路规划，并通过实际案例分析无人机防控的必要性，列举无人机防 控相关的解决方案与产品。 《无人机原理、应用与防控》可作为无人机应用技术相关专业及从事无人机领域的相关技术人员、企业或培训机构的培 训教材或参考教材，也适用于具有一定技术基础的相关专业人员或行业爱好者自学。

以 “工业互联网四次进阶模型”为引导，全新视角阐述工业互联网， 分为“泛在连接，要素融合，人本管理，数字文明”四篇

《复合固体推进剂辅助增强技术》介绍了对于复合固体推进剂关键部位的辅助增强，以及两种本征型损伤辅助自修复技术，对复合固体推进剂力学性能提升的基础材料学方法进行了高级论述。《复合固体推进剂辅助增强技术》可促进读者理解与复合固体推进荆相关的材料设计理念和先进制备工艺，以及在复合材料微观结构构筑和表征方法方面的先进技术与创新。《复合固体推进剂辅助增强技术》属于高级技术层次，包含大量的实验和数据，同时亦采用技术性适宜的描写与叙述性文字来阐述各种概念。《复合固体推进剂辅助增强技术》主要面向航天相关专业大学生和讲师、复合固体推进剂研究人员、航空航天动力工程师以及火箭发动机设计师与制造人员。

《生物质化学分析与测试》围绕生物质资源的化学成分，应用化学方法，结合传统林产化学品和现代生物质资源的开发进行编写。编写过程中充分考虑到专业应用的特点，使内容更加具有系统性、完整性、科学性和实用性。《生物质化学分析与测试》结合了现代分析测试技术手段在生物质资源化学利用领域的运用，增加了红外光谱、气相色谱、液相色谱、质谱等现代分析测试手段在实验中的应用，使实验内容更加丰富和完整，也能进一步使理论和实际相结合，强化操作技能的训练，培养学生独立的科研工作能力。

本书以丰富的实践和浅显的理论，总结出应对深井复杂应力软弱岩煤层及恶劣环境下的围岩稳定控制“两个理论，十大技术”，即：“锚注支护理论”和“小区域高应力富含带”理论和预控、置换、封闭、强韧封层、激隙泄压、稳压胶结、留压注浆、构建均质同性、主动动态注浆增强提升支护工作阻力，优化集成各支护单元容错十项关键技术。能过在“新奥法”基础上的全面跨越提升，建立起我国主动动态的支护体系，以应对深井各种复杂叠加应力和极弱煤岩体的围岩控制。 本书可供从事巷道支护相关专业的管理人员和技术人员学习借鉴。