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RF MEMS器件与技术

RF MEMS器件与技术

作者:郭兴龙, 编著

出版社:江苏大学出版社

出版时间:2021-11-01

ISBN:9787568417235

定价:¥48.00

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内容简介
暂缺《RF MEMS器件与技术》简介
作者简介
暂缺《RF MEMS器件与技术》作者简介
目录
 
 
 
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第 1 章    绪    论      (001)
1 . 1    MEMS 基本特点    (001)
1 . 2    MEMS 在各学科领域的应用研究    (003)
1 . 3    MEMS 研究内容    (005)
1 . 4    MEMS 发展简史    (006)
1 . 5    工艺的发展   (007)
第 2 章   微机电系统力学基础     (009) 1MEMS 尺寸效应    (009) 2    微机械的弹性梁力学问题 (011) 3流体力学   (012) 4黏附力   (013) 5静电力    (015) 参考文献     (016)
第 3 章   MEMS 工艺    (017)
3 . 1     光刻    (017)
3 . 2    淀积    (018)
3 . 3    腐蚀    (019)
3 . 4    键合    (020)
3 . 5    MEMS 工艺的发展趋势    (026)
第 4 章   RF MEMS 器件设计微波基础     (028)
4 . 1    微带传输线   (028)
4 . 2    慢波共面波导传输线   (029)
4 . 3    两端口微波网络    (032)
4 . 4    微波滤波网络    (035)
4 . 5    微尺度下微机械天线的电磁辐射和耦合理论   (036)
4 . 6    分形结构原理    (040)
 
 
4 . 7    分形天线的形式结构    (041)
4 . 8    分形自相似滤波原理   (044)
4 . 9    小结    (045)
参考文献     (046)
第 5 章   RF MEMS 可重构天线     (050)
5 . 1     概述    (050)
5 . 2    典型的微波硅基 MEMS 可重构天线设计    (052)
5 . 3    硅基可重构天线设计   (057)
5 . 4    掩膜版的制作    (059)
5 . 5    天线的测试结果    (060)
5 . 6    典型的硅基 MEMS 可重构分形天线设计    (062)
5 . 7    Koch , Single-Arm  Spiral , Double-Ring 分形天线的设计      (067)
5 . 8    小结    (073)
参考文献     (074)
第 6 章   RF MEMS 可重构滤波器     (076)
6 . 1     概述    (076)
6 . 2    分布参数法设计微波滤波器   (079)
6 . 3    传输线理论基础    (080)
6 . 4    带通滤波器的设计方法   (083)
6 . 5    典型的 RF MEMS 可调滤波器     (088)
6 . 6    典型的电磁带隙技术滤波器   (097)
6 . 7    基于 MEMS 技术的 EGS 结构用于可重构低通滤波器的设计举例      (103)
6 . 8    MEMS 滤波器的未来发展    (109)
参考文献     (110)
第 7 章   RF MEMS 可重构匹配网络     (114)
7 . 1     概述    (114)
7 . 2    RF MEMS 可重构匹配网络设计方法      (116)
7 . 3    RF MEMS 可重构匹配网络上的电流      (119)
7 . 4    RF MEMS 可重构匹配网络举例      (119)
参考文献     (123)
第 8 章   RF MEMS 谐振器     (127)
8 . 1     概述    (127)
8 . 2    RF MEMS 谐振器基本知识      (128)
 
 
8 . 3    RF MEMS 谐振器工艺      (130)
8 . 4    RF MEMS 谐振器研究      (131)
8 . 5    结论    (137)
参考文献     (139)
第 9 章   MEMS 模拟与仿真    (142)
9 . 1    有限元分析介绍   (142)
9 . 2    有限元法分析计算的思路和做法   (143)
9 . 3    COMSOL Multiphysics 软件       (144)
9 . 4    COMSOL 二次开发工具    (148)
9 . 5    其他微机电模拟仿真软件   (149)
9 . 6    微机电模块    (156)
第 10 章   微机电系统材料   (157) 1硅     (157) 2砷化镓      (163) 3MEMS 中的陶瓷材料      (163) 4    形状记忆合金材料    (164) 5    MEMS  中的磁致伸缩材料   (167) 6MEMS 中的流变体      (167) 第 11 章   MEMS 的发展趋势      (170)
11 . 1    可调谐的网络及其滤波器     (170)
11 . 2    开关     (171)
11 . 3    变容器和电感器      (171)
11 . 4    电路和移相器      (171)
11 . 5    小结     (172)
11 . 6    后续     (172)
参考文献     (175)
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