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交流电沉积法及其在微纳器件中的应用

交流电沉积法及其在微纳器件中的应用

作者:冀健龙

出版社:西安电子科技大学出版社

出版时间:2022-08-01

ISBN:9787560664835

定价:¥23.00

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内容简介
  本书共5章, 分为3个部分, 分别为交流电沉积的研究进展及基础理论(第1、2章), 基于交流电沉积的纳米材料制备(第3、4章), 以及交流电沉积的纳米材料在微纳器件中的应用(第5章)。本书不仅详细介绍了交流电沉积法的原理, 还引申出微纳功能单元的形貌、结构控制参数与调控规律, 进而为材料构效关系研究奠定理论基础。本书可作为电子科学与技术专业的研究生教材, 也可供相关领域的工程技术人员及研究人员学习参考。
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