书籍详情

半导体工艺与集成电路制造技术

半导体工艺与集成电路制造技术

作者:韩郑生,罗军,殷华湘,赵超

出版社:科学出版社

出版时间:2023-04-01

ISBN:9787030750600

定价:¥178.00

购买这本书可以去
内容简介
  本书将系统地介绍微电子制造科学原理与工程技术,覆盖集成电路制造所涉及的晶圆材料、扩散、氧化、离子注入、光刻、刻蚀、薄膜淀积、测试及封装等单项工艺,以及以互补金属氧化物半导体(CMOS)集成电路为主线的工艺集成。对单项工艺除了讲述相关的物理和化学原理外,还介绍一些相关的工艺设备。
作者简介
暂缺《半导体工艺与集成电路制造技术》作者简介
目录
暂缺《半导体工艺与集成电路制造技术》目录
猜您喜欢

读书导航