中国电子信息工程科技发展研究：测量计量与仪器专题

　　精密测量与仪器技术是支撑科技创新、科技进步与工业高质量发展的重要基础。《中国电子信息工程科技发展研究.测量计量与仪器专题》旨在分析和研判测量计量与仪器领域年度科技发展动态与发展趋势，为梳理和规划该领域的发展方向奠定基础。《中国电子信息工程科技发展研究.测量计量与仪器专题》综合阐述了当前若干子领域的重要进展，如三维共焦显微测量技术与仪器、高性能原子钟技术、新冠病毒抗体测量技术、真空测试计量技术、毫米波太赫兹仪器与计量技术、智能制造高性能视觉检测成套技术及装备、工业CT、大量程纳米位移测量技术等；也介绍了国内外相关技术的重要突破和技术成果；从全球发展态势着眼，聚焦领域热点亮点，力图展现从全球发展态势着眼，聚焦领域热点亮点，新进展、新特点、新趋势，为我国新一代国家测量体系建设和仪器产业发展战略规划提供参考。

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目录
《中国电子信息工程科技发展研究》编写说明
前言
第1章 全球发展态势 1
1.1 三维共焦显微测量技术与仪器 3
1.2 高性能原子钟技术 6
1.3 新冠病毒抗体测量与应用 11
1.4 真空测试计量技术 12
1.5 毫米波太赫兹仪器与计量技术 15
1.6 智能制造高性能视觉检测成套技术及装备 20
1.7 复合纳米探针测量技术及仪器 23
1.8 调频激光雷达扫描测量技术与仪器 25
1.9 工业CT 26
1.10 大量程纳米位移测量技术 28
1.11 光纤传感技术 31
1.12 大型高端精密回转装备装配测量仪器超精密校准技术 33
1.13 原子力显微镜 34
1.14 扫描电镜技术 39
第2章 我国发展现状 44
2.1 我国三维共焦显微测量理论、产品和标准齐头并进 44
2.2 我国高性能原子钟技术取得重要进展 46
2.3 新冠病毒抗体测量有效支撑我国防疫 49
2.4 我国初步建立真空测试计量技术体系 50
2.5 我国毫米波太赫兹仪器实现规模化应用 52
2.6 高性能视觉检测成套装备应用于智能制造 56
2.7 复合纳米探针测量仪器实现晶圆测量 58
2.8 多家单位研制成功调频激光雷达扫描测量仪器 59
2.9 我国工业CT显著进步 60
2.10 我国持续推大量程纳米位移测量技术 62
2.11 光纤传感技术在多场景投入应用 64
2.12 我国突破大型精密回转装备装配测量仪器关键技术 66
2.13 针尖增强拉曼光谱技术厚积薄发 67
2.14 我国扫描电镜技术起步晚底子薄 70
第3章 我国未来展望 73
3.1 三维共焦显微测量技术拓展微观世界探索的边界 73
3.2 光钟是高性能原子钟的未来方向 74
3.3 建立新冠病毒中和抗体检测标准 75
3.4 进一步提升真空测试计量技术水平 77
3.5 突破毫米波太赫兹仪器的关键“瓶颈” 78
3.6 高性能视觉检测成套装备走向规模化应用 80
3.7 高性能纳米探针实现大批量可控制备 82
3.8 调频激光雷达测量性能进一步提升 83
3.9 工业CT向多物理场“原位”测量发展 84
3.10 大量程位移测量精度将进入皮米尺度 86
3.11 光纤传感产业将持续发展 87
3.12 大型精密回转装备装配测量理论与技术进一步发展 88
3.13 针尖增强拉曼光谱技术向时域和全局测量发展 88
3.14 新型扫描电镜领域力争突破 90
第4章 我国热点亮点 93
4.1 我国三维共焦显微测量理论成果纳入国际标准 93
4.2 我国部分原子钟达到国际先进水平 98
4.3 我国联合主导新冠病毒抗体测量国际比对 100
4.4 我国主导制定磁悬浮转子真空计国际标准 102
4.5 毫米波太赫兹仪器与计量技术实现突破创新 104
4.6 高性能视觉检测装备应用覆盖国内80%汽车企业 107
4.7 我国提出了复合纳米探针设计方法 111
4.8 调频激光雷达扫描测量技术与仪器 114
4.9 具备原位测量功能的工业CT 115
4.10 初步建立纳米时栅测量理论与技术体系 118
4.11 光纤传感技术应用取得新突破 120
4.12 研制成功大型精密回转装备装配测量仪器 121
4.13 实现埃级分辨的拉曼振动成像 121
4.14 具备亚纳米分辨力的高分辨力场发射扫描电镜研发成功 124
第5章 领域年度热词 126
第6章 领域指标 132
参考文献 145