精芯打造：集成电路的制造设备

　　本书主要介绍集成电路制造的各种设备，以青少年熟悉的“武林高手”的形式介绍主要集成电路制造设备，如被称为集成电路制造的“四大金刚”离子注入机、光刻机、刻蚀设备和薄膜沉积设备。从这些设备在集成电路制造中的各自作用入手，图文并茂地围绕“精”这个字，体现集成电路制造设备的技术先进性、复杂度和极具挑战性的特点，一方面以青少年喜闻乐见的方式普及核心设备的基础知识，另一方面引发他们未来从事集成电路制造设备研发的兴趣。

　　杨晓峰，复旦大学教授，博士生导师，上海超精密运动控制与检测工程技术研究中心主任。在日本尼康精密公司精密机器开发本部工作14年，任职主任研究员，主要从事超大规模集成电路制造中最关键的半导体曝光装置暨高端光刻机的生产、制造与研发工作。研究方向为超精密运动系统的系统工程技术的研究。现任国家重大专项（02专项）“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”总体组技术专家、02专项光刻机指挥部成员，主持自然科学基金面上项目一项，国家重大科技专项02专项课题一项。近几年在期刊和国际会议上发表论文20余多篇；申请发明专利22项。

第一章 “精密”之旅——走近集成电路制造设备
“摩尔定律”的魔法术
空气洁净度
精密的尺度
“纳米城市”的质量标准
第二章 “精”彩纷呈——揭开集成电路制造设备的神秘面纱
走进洁净室
洁净室的特别之处
集成电路制造设备的“十八般武艺”
第三章 精准的“注射”高手——离子注入机
芯片为什么需要“杂质”
“注射”是一门大学问
“蓄势待发”的离子源
“万箭齐发”的束线
“工艺腔”里的故事
第四章 精湛的“摄影”大师——光刻机
走近光刻机
如何评判光刻机的“武功”
光刻机的“光”是怎么来的
光刻机“照相”的过程
光刻机内部的“跑步冠军”
光刻机里的“大哥大”——极紫外光刻机
第五章 精密的“雕刻”行家——刻蚀机
“雕刻”行家也用“刀”吗
神秘的“雕刻魔法”之湿法刻蚀
神秘的“雕刻魔法”之干法刻蚀
“雕刻”行家特殊的工作环境
如何评估“雕刻”的水平
第六章 精确的“制衣”能手——薄膜沉积设备
芯片喜欢穿什么样的“衣服”
“制衣”能手的绝活儿
物理“制衣”法——物理气相沉积设备
化学“制衣”法——化学气相沉积设备
原子“制衣”法——原子层沉积设备
第七章 日益“精”进——集成电路制造设备的竞争格局
“英雄辈出”——集成电路制造设备主要厂商
“群雄逐鹿”——集成电路制造设备的市场格局
“奋起直追”——中国集成电路制造设备的发展之路
参考文献
后记