外来元素融合铟锌氧化物透明导体\半导体研究

　　本书利用射频磁控溅射技术将Ag元素、Ge元素、Al元素和Y元素加入至a-IZO中，研究了四种元素是否可以在不降低透明度的情况下提高a-IZO的导电性并形成新型a-TCO；同时，根据四种元素对a-IZO性能的影响，对Hosono等提出的工作假定进行了系统性评估。本书分为八章。第一章对本书内容进行了简要介绍。第二章对a-IZO相关材料的背景和发展进行了文献综述，对研究新型a-IZO相关材料的工作假定进行了详细分析。第三章概括了相关实验方法和技术细节。第四章和第五章系统研究了工作假定范畴内的Ag元素和Ge元素加入a-IZO中对光电性能的影响并对工作假定进行了评估。第六章和第七章系统研究了工作假定范畴外的Al元素和Y元素加入a-IZO对光电性能的影响并对工作假定进行了评估。第八章总结了本书的主要研究成果。

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第一章 绪论
第一节 概述
第二节 研究内容
第二章 文献综述
第一节 透明导电氧化物概述
第二节 探索非晶透明导电氧化物的工作假定
第三节 氧化铟锌（IZO）材料概述
第三章 实验方法
第一节 概述
第二节 制备方法
第三节 检测方法
第四章 Ag元素参与和Ag夹层对a-IZO的影响
第一节 概述
第二节 金属Ag和Ag2O参与对a-IZO的影响
第三节 金属Ag嵌入对a-IZO的影响
第四节 本章小节
第五章 Ge元素参与对a-IZO的影响
第一节 概述
第二节 金属Ge参与对a-IZ0的影响
第三节 GeO2参与对a-IZO的影响
第四节 本章小节
第六章 Al元素参与对a-IZO的影响
第一节 概述
第二节 金属Al参与对a-IZ0的影响
第三节 Al2O3参与对a-IZO的影响
第四节 本章小节
第七章 Y元素参与对a-IZO的影响
第一节 概述
第二节 Y2O3参与对a-IZO的影响
第三节 本章小节
第八章 结论与展望
第一节 结论
第二节 展望
主要参考文献