纳米加工技术与原理

　　《纳米加工技术与原理》的出版是因为我们意识到微纳结构加工的新知识层出不穷，现有数据库中逐渐出现了空白。目前，已经非常完善但仍然在高速发展的微电子加工技术让我们拥有了一系列对半导体、绝缘体及金属等薄膜进行沉积、图形化及刻蚀的工具和方法，这些工具和方法在许多文献和书籍中都有详细的描述和记录，也持续在新兴的纳米技术产业发挥着巨大的作用。然而，除了这些已经存在的方法外，近些年来针对纳米尺度与精度的结构加工涌现了众多新工具，其中，如原子层沉积，已经逐渐在微电子生产线上获得应用。也有部分尖端工具，如氦离子束纳米加工，在未来短期内不太可能实现大批量生产，但是作为一类强大的工具，它们可以制作以前无法想象的纳米器件。介于二者之间，还有许多技术到目前为止仍没有出现在标准的微纳加工手册中，这些技术的共同特征是能够对物质进行近原子尺度和精度的结构加工。因此，我们认为有必要将这些技术编写成一本参考书，作为对以前那些专门描述先进CMOS集成电路工艺的书籍的补充。该书不会对CMOS工艺进行介绍，并不是因为它们不属于“真正的纳米加工方法”，而是因为它们在过去很多年是缓慢演化而来的，大家已经比较熟悉，有很多其他的书籍进行了专门介绍。《纳米加工技术与原理》兼顾了纳米加工的基础原理和应用实例。潜在的读者，即所有对纳米结构加工新方法感兴趣的人员，包括工业界的工艺工程师、学术研究人员、研究生及高年级本科生。该书也可以作为教材为研究生开设一个学期的纳米加工方面的课程，尽管不是专门为教学目标而编写。

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