折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用

　　本书主要针对可见光、红外、太赫兹等谱域的折射与衍射微光学结构，开展新的设计、工艺制作和测试评估方法研究。重点论述了以折射和衍射微光学积分变换为基础，有效出射可见光、红外及太赫兹多谱图像与波前的基础理论和基本方法，建立了基于衍射相位精细构建在设计、仿真、工艺、测试与评估等方面的数据和方法体系。

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第1章 光波衍射积分变换的基础理论与基本方法
1．1 光衍射图像生成
1．2 衍射微光学结构
1．3 设计实例
1．4 小结
第2章 衍射微光学图像生成与发射结构
2．1 单步光刻与硅KOH湿法蚀刻
2．2 可见光图像发射效能评估
2．3 小结
第3章 折射微光学波前出射结构
3．1 问题与挑战
3．2 折射微光学波前出射结构的工艺制作方法
3．3 可见光谱域光学性能测试与评估
3．4 小结
第4章 相干光波的衍射整形与频谱空间分离
4．1 基础理论与基本方法
4．2 常规近场与远场衍射积分变换
4．3 衍射结构设计算法
4．4 基于远场衍射的频谱空间分离
4．5 准连续相位分布的衍射微光学结构
4．5．1 光程差算法
4．5．2 GS算法
4．5．3 模拟退火算法
4．5．4 时域有限差分法
4．5．5 基于角谱的串行迭代算法
4．6 衍射微光学结构设计
4．7 毫米级近场的衍射积分变换
4．8 小结
第5章 构建衍射微光学结构执行复杂光束变换
5．1 衍射相位结构
5．2 硅的各向异性KOH湿法蚀刻
5．3 测试与分析
5．4 具有准连续相位分布的衍射微光学波前结构
5．5 衍射微光学远场光束整形
5．5．1 单步电子束曝光
5．5．2 测试、分析与讨论
5．6 适用于毫米级近场光束整形的衍射微光学结构
5．6．1 关键工艺流程
5．6．2 特征属性表征与测试
5．6．3 常规光学性能测试与评估
5．7 小结
第6章 太赫兹图像的光衍射发射
6．1 太赫兹波衍射相位结构与光刻版图
6．2 硅基太赫兹波衍射相位结构湿法蚀刻
6．3 典型特征评估
6．4 衍射相位结构设计与实现
6．4．1 KOH湿法蚀刻
6．4．2 测试、讨论与分析
6．5 小结
……
第7章 红外与太赫兹波衍射微光学波前结构
第8章 硅基非球面光学折射结构
参考文献