超材料光学射频探测原理与方法

　　《超材料光学射频探测原理与方法》详细阐述超材料的信号感测行为和电磁信号探测基本方法，结合工程实践，具体介绍超材料结构、电路驱控、版图设计与工艺制作方法以及实验结果。重点讲述光学射频信号探测电路、超材料数值模拟、肖特基型超材料探测器结构、基于超材料的太赫兹波、毫米波探测以及基于超材料的光学射频一体化探测等。《超材料光学射频探测原理与方法》的主要读者对象为从事半导体器件、应用光学以及红外射频信号探测研究等方向的科技和工程人员，同时也可作为高等院校和科研院所相关专业的大学生及研究生的参考书。

　　罗俊，华中科技大学博士后，华中农业大学副教授，主要研究方向为超宽频谱成像探测和图像处理，主持军队级科研项目一项，在国内外期刊发表多篇学术论文。魏东，华中科技大学人工智能与自动化学院博士，主要研究方向为微纳光学、红外隐身与红外探测。张新宇，华中科技大学工智能与自动化学院教授，博士生导师，主要研究方向为多谱多模成像探测与制导、微纳光学与光电技术、多谱图像信息处理与模式识别、智能化光学／光电芯片、光学射频复合成像探测，主持国家自然科学基金科研项目多项。

第1章 光学射频信号探测的思路
1．1 光频红外与射频毫米波信号探测特征
1．2 太赫兹波谱特性
1．3 太赫兹波的产生、探测与典型应用
1．3．1 太赫兹波的产生
1．3．2 太赫兹波的探测
1．3．3 太赫兹技术典型应用
1．3．4 超材料微纳结构阵列的宽谱探测
第2章 太赫兹探测器基础
2．1 太赫兹波探测器
2．2 左手材料原理及特性
2．2．1 左手材料原理
2．2．2 左手材料特性
2．2．3 左手材料的实现方法
第3章 超材料探测方法
3．1 超材料基本特征
3．2 超材料器件微结构与电子学配置
3．3 共振单元形貌特征
3．4 超材料功能器件及其应用
3．4．1 采用能量吸收方式进行太赫兹信号探测
3．4．2 采用电压驱控的方式进行太赫兹信号调控与感测
第4章 超材料数值模拟
4．1 时域有限积分法
4．2 频域有限元法
4．2．1 电磁场数值计算的边界问题
4．2．2 频域有限元法的步骤
4．2．3 仿真算法性能
4．3 电磁场计算中的S参数模型
4．4 典型SRR单元微结构超材料仿真特性
4．4．1 典型微结构图案形态超材料太赫兹透射性能
4．4．2 开孔尺寸对共振特性的影响
4．4．3 线宽尺寸对共振频率的影响
4．5 小结
第5章 超材料器件的设计与制作
5．1 半导体基超材料
5．2 超材料关键制作工艺
5．2．1 清洗与成膜
5．2．2 涂光刻胶
5．2．3 前烘
5．2．4 对准和曝光
5．2．5 后烘
5．2．6 显影
5．2．7 坚膜
5．2．8 刻蚀
5．2．9 光刻检查
5．2．10 划片
5．2．11 压焊
5．3 基于微纳半导体工艺的面阵超材料探测器版图特征
5．4 肖特基型超材料的典型工艺流程
5．5 肖特基超材料电子学性能评估与分析
5．6 小结
……
第6章 超材料长波红外探测建模
第7章 基于连续太赫兹波的超材料信号感测
第8章 基于太赫兹时域光谱的电控超材料信号感测
第9章 超材料对光频红外信号的感应与探测
第10章 超材料对射频毫米波信号的感应与探测
第11章 超材料亚波长隐身技术
第12章 基于超材料的光学射频一体化探测架构
参考文献