薄膜微带电路工艺技术

　　薄膜微带电路是卫星电子设备、机载电子设备、移动终端、通信基站、测试仪器等所必需的重要组成部分。本书系统介绍了薄膜微带电路的制作流程、关键制成工艺、常见质量问题及解决方法等， 是编者多年从事薄膜微带电路制作、测试和试验所积累经验的汇总。 本书共12章，主要内容包括绪论、真空技术、常见基板表面成膜方法、薄膜电路基材、常用薄膜材料、光刻、电镀金、薄膜电阻、外形加工、薄膜工艺中的其他重点技术、薄膜电路常见质量问题及注意事项、薄膜微带电路质量检验方法。 本书可供薄膜电路工艺、薄膜电子材料、薄膜电路设计等领域的科技人员以及高等院校相关专业的师生学习参考。

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