有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法

　　当今时代，永磁直线电机在高速度、高精度、高载荷的运动控制中应用广泛，同时也带来了更多的模型不确定性和更强的外部扰动问题。因此，兼顾高动态和高精度的运动控制指标，降低上述问题带来的影响是至关重要的。《有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法》以尖端精密设备——光刻机中的双工件台系统为研究背景，针对有铁芯直线电机存在的推力波动问题，进行了深入的理论分析和扰动补偿方案研究。《有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法》可作为从事精密机电系统研发的科研人员和工程师的参考书。

暂缺《有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法》作者简介

第1章 绪论
1．1 研究背景、目的及意义
1．2 推力波动抑制的国内外研究现状及分析
1．3 主要研究内容
第2章 推力波动分析及反馈控制系统设计
2．1 直线电机推力波动分析
2．2 直线电机建模及反馈控制器设计
2．3 本章小结
第3章 推力波动数据采集及辨识
3．1 推力波动数据采集方案设计及试验结果
3．2 推力波动辨识方法研究
3．3 查表补偿方法研究
3．4 本章小结
第4章 基于迭代学习前馈的推力波动补偿方法研究
4．1 迭代学习前馈补偿方法理论分析
4．2 基于迭代学习前馈的推力波动补偿方法仿真研究
4．3 基于逆模型迭代学习前馈的推力波动补偿方法实验验证
4．4 本章小结
第5章 基于扰动观测器的推力波动补偿方法研究
5．1 基于传统扰动观测器的推力波动补偿方法研究
5．2 改进扰动观测器设计
5．3 基于改进扰动观测器的推力波动补偿方法实验验证
5．4 基于改进扰动观测器+迭代学习的推力波动补偿方法研究
5．5 本章小结
结论
参考文献