MEMS技术前沿与应用发展

　　《MEMS技术前沿与应用发展》是一部深入论述微机电系统（MEMS）技术发展前沿与应用的专著，共分为12章。前3章从MEMS的基础概念、基本方法破题，围绕MEMS的制造、集成、测试技术加以展开，从硅／非硅微加工到封装、集成与测试技术，并从军事航天的应用领域对MEMS制造与集成技术进行了分析及讨论；第4章至第10章详细介绍了惯性MEMS技术、射频MEMS技术、微能源MEMS技术、生物MEMS技术、可穿戴／植入MEMS技术、空间MEMS技术以及极端环境应用的MEMS技术；第11章和第12章分别讨论了MEMS技术的新原理新效应，以及MEMS技术的产业化发展现状。《MEMS技术前沿与应用发展》内容新颖，文献丰富，数据充实，适合与微米纳米技术相关的MEMS、纳米技术、微电子、光电子、传感与测控等领域科技人员与管理者，以及高等院校相关学科的科研人员、研究生、高年级本科生等阅读。

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第1章 绪论
1．1 MEMS的概念
1．2 MEMS的历史
1．3 MEMS的特点
1．4 MEMS与lC的区别
1．5 MEMS的现状及应用领域
参考文献
第2章 MEMS制造与集成技术
2．1 绪论
2．2 MEMS制造技术发展
2．2．1 硅微加工技术概述
2．2．2 非硅微加工技术概述
2．2．3 其他加工制造技术
2．2．4 材料制备技术
2．2．5 MEMS器件封装技术
2．3 MEMS制造技术应用实例
2．3．1 MEMS制造技术应用实例
2．4 集成技术发展
2．4．1 集成技术发展
2．4．2 微纳器件的三维集成
2．4．3 微纳器件的系统集成
2．5 MEMS集成技术应用实例
2．5．1 军事应用
2．5．2 航天应用
2．5．3 生物应用
2．5．4 产业进展
2．6 MEMS制造与集成技术展望
2．7 本章小结
参考文献
第3章 MEMS测试技术
3．1 绪论
3．2 测试技术发展历程
3．2．1 测试技术历史回顾
3．2．2 测试技术的国内外发展现状
3．3 测试技术发展关键技术
3．4 测试技术应用实例
3．4．1 MEMS继电器测试
3．4．2 MEMS扫描微镜测试
3．5 本章小结
参考文献
第4章 惯性MEMS技术
4．1 绪论
4．2 MEMS加速度计
4．2．1 单轴电容检测式MEMS加速度计
4．2．2 三轴电容检测式MEMS加速度计
4．2．3 其他检测方式的MEMS加速度计
4．3 MEMS陀螺
4．3．1 振动式MEMS陀螺
4．3．2 转子式微陀螺
4．3．3 微光机电陀螺
4．4 微惯性测量单元
4．4．1 微组装惯性测量单元
4．4．2 单片集成惯性测量单元
4．5 惯性器件发展趋势
4．6 本章小结
参考文献
第5章 RF MEMS技术
5．1 绪论
5．2 技术发展
5．2．1 RF MEMS开关的研究
5．2．2RF MEMS移相器的研究
……
第6章 微能源MEMS技术
第7章 Bio-MEMS技术
第8章 可穿戴／植入MEMS技术
第9章 空间MEMS技术
第10章 极端环境MEMS技术
第11章 MEMS的新原理和新效应
第12章 MEMS产业化
参考文献