SiC材料表面处理：飞秒激光微纳制备及其瞬态物理过程

　　《SiC材料表面处理——飞秒激光微纳制备及其瞬态物理过程》主要介绍了飞秒激光在半导体材料表面快速、高效制备高精度、高质量表面周期微纳米结构的方法，通过泵浦-探测技术和飞秒激光多维光场的精准操控，在SiC材料表面制备了高质量的微纳米颗粒结构、光栅状表面周期条纹结构和二维“微岛”阵列结构，系统探究了光场操控对材料界面微纳米结构的调控机制；分析并讨论了表面等离激元与瞬态折射率光栅超表面在激光诱导表面周期结构形成过程中的重要作用，基于飞秒激光多光束泵浦-探测技术，获得了超强飞秒激光脉冲辐照半导体材料表面瞬态物理过程随时间的演化图景。

　　和万霖，男，工学博士，中国光学学会会员，西安石油大学理学院讲师。2017年毕业于南开大学现代光学研究所，获得光学工程工学博士学位。主要从事光学工程学科方面的教学和科研工作，研究方向为飞秒激光微纳结构制备及其光学特性研究。目前主持一项国家自然科学基金项目，参与国家自然科学基金面上项目2项，在国际知名学术期刊上发表学术论文5篇（SCI收录）。先后给本科生主讲《激光技术及应用》《大学物理实验》等课程。

第1章 绪论
第2章 飞秒激光SiC表面微纳米颗粒结构制备
第3章 单束飞秒激光在SiC表面诱导周期条纹结构
第4章 双束飞秒激光诱导SiC表面周期条纹结构
第5章 三束飞秒激光制备一维表面周期结构
第6章 三束飞秒激光制备二维表面周期结构
第7章 SiC表面微区的能谱分析及显微拉曼光谱测量
附录Ⅰ 特殊名词中英文对照
附录Ⅱ 物理量符号对照
参考文献