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半导体制造工艺控制理论
作者：王少熙
出版社：西北工业大学出版社
出版时间：2017-01-01
ISBN：9787561259535
定价：¥49.00
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内容简介
稳定受控的半导体制造工艺是实现芯片高可靠性水平的重要方法。本书从工序能力指数、统计过程控制和实验设计三个方面展开，详细讲述三种技术的常规理论和特殊应用方法和模型。内容包括常规工序能力指数，特殊工序能力指数，常规过程控制技术，特殊过程控制技术，实验设计及工艺表征以及系统健康管理概念。
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