直拉单晶硅工艺技术（第二版）

　　本书主要内容包括单晶炉的基本知识、直拉单晶炉、直拉单晶炉的热系统及热场、晶体生长控制器、原辅材料的准备、直拉单晶硅生长技术、铸锭多晶硅工艺、掺杂技术等内容。 本书可作为各类院校太阳能光伏产业硅材料技术专业、新能源专业的教材，也可作为单晶硅生产企业的员工培训教材，还可作为相关专业工程技术人员的参考书。

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绪论1
第1章单晶硅的基本知识3
1.1晶体和非晶体3
1.2单晶和多晶7
1.3空间点阵和晶胞8
1.4晶面和晶向11
1.5晶体的熔化和凝固15
1.6结晶过程的宏观特征16
1.7晶核的形成17
1.8二维晶核的形成18
1.9晶体的长大19
1.10生长界面结构模型21
习题23
第2章直拉单晶炉25
2.1直拉单晶炉设备简介25
2.2直拉单晶炉的结构26
2.3机械部分27
2.4电气部分35
2.5直拉单晶炉的工作环境40
习题41
第3章直拉单晶炉的热系统及热场43
3.1热系统43
3.2热系统的安装与对中46
3.3热场47
3.4温度梯度与单晶生长47
3.5热场的调整51
习题52
第4章晶体生长控制器54
4.1CGC-101A型晶体生长控制器功能简介54
4.2CGC-101A型晶体生长控制器的开关状态说明55
4.3CGC-101A型晶体生长控制器的键盘操作说明56
4.4CGC-101A型晶体生长控制器参数设置及定义61
4.5CGC-101A型晶体生长控制器使用说明64
习题65
第5章原辅材料的准备67
5.1硅原料67
5.2石英坩埚72
5.3掺杂剂与母合金74
5.4其他材料75
5.5原辅材料的腐蚀和清洗76
5.6腐蚀原理及安全防护77
5.7自动硅料清洗机简介78
习题80
第6章直拉单晶硅生长技术81
6.1直拉单晶硅工艺流程81
6.2拆炉及装料82
6.3抽空及熔料86
6.4引晶及放肩88
6.5转肩及等径91
6.6收尾及停炉93
6.7拉速、温校曲线的设定95
6.8埚升速度的计算方法97
6.9异常情况及处理方法99
习题101
第7章铸锭多晶硅工艺102
7.1光伏产业简介102
7.2铸锭多晶硅炉的结构103
7.3铸锭多晶硅工艺流程105
7.4铸锭多晶硅的优缺点108
习题109
第8章掺杂技术110
8.1杂质110
8.2导电型号111
8.3熔硅中的杂质效应111
8.4杂质的分凝效应113
8.5Keff与K0的关系117
8.6结晶后固相中的杂质分布规律118
8.7掺杂121
习题125
附录1硅的物理化学性质（300K）126
附录2硅中杂质浓度和电阻率关系127
附录3元素周期表128
附录4立方晶系各晶面（或晶向）间的夹角129
附录5尘室的分级标准130
参考文献131