微惯性系统及应用

　　《微惯性系统及应用/机械设计制造及其自动化专业系列·教材高等学校“十二五”重点规划教材》系统地介绍了微惯性器件的基本原理及应用问题。内容主要包括微惯性导航技术有关的基本原理；各种微惯性器件的原理、结构及加工制造技术；微惯性器件与系统的测试、标定及评价方法；基于微惯性器件的惯性系统与组合导航技术。《微惯性系统及应用/机械设计制造及其自动化专业系列·教材高等学校“十二五”重点规划教材》注重理论与工程实际应用相结合，在介绍理论的基础上，还融入了作者及其他研究者近年来的许多最新研究成果，理论及实践并重，具体介绍了各种基于微惯性技术的系统设计、实现及应用。《微惯性系统及应用/机械设计制造及其自动化专业系列·教材高等学校“十二五”重点规划教材》可作为高等院校电子、微电子、微机电系统、测控技术与仪器、导航、制导与控制、精密仪器与机械、控制工程等相关专业的研究生、本科生和教师用书或作为教学参考书，也可供从事相关领域研究的有关工程技术人员参考。

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第1章 绪论
1.1 引言
1.2 MEMS的设计
1.3 MEMS制造
1.4 微机电系统与微加工制造技术
1.5 MEMS中的微光学MOEMS
1.6 微惯性器件及微惯性技术的发展
1.7 微惯性系统的应用
第2章 微惯性系统基本工作原理
2.1 微惯性器件的动力学基础
2.2 微惯性航姿系统的工作原理
2.3 姿态角的定义和更新
2.4 捷联惯性导航系统的工作原理
2.5 GPS定位原理
第3章 微惯性器件的功能材料及加工制造技术
3.1 硅材料的物理性能
3.2 微机电系统加工技术基础
第4章 微惯性器件
4.1 微传感器的敏感机理
4.2 压力传感器
4.3 加速度传感器
4.4 陀螺
4.5 与MOEMS有关的传感器
第5章 微惯性器件的测试、标定与误差分析
5.1 惯性器件测试基本概念
5.2 微机械加速度计的测试与标定
5.3 微机械陀螺仪的测试与标定
5.4 微机械陀螺仪随机误差建模与分析补偿
5.5 微机械陀螺随机误差的时间序列分析建模
5.6 MEMS陀螺小波去噪
5.7 MEMS陀螺随机误差的Allan方差分析方法
5.8 微惯性器件的温度性能分析
5.9 硅微惯性器件的测试实例
第6章 微惯性测量、稳定系统
6.1 微惯性测量系统
6.2 微惯性稳定系统
第7章 基于微惯性系统的组合导航技术
7.1 微惯性组合导航系统的基本原理
7.2 微惯性组合导航系统的实现形式
7.3 卡尔曼滤波在微惯性组合导航系统中的应用
7.4 粒子滤波在微惯性组合导航系统中的应用
7.5 EKF／UKF在微惯性／GPS组合导航系统中的应用
7.6 EPF／UPF在微惯性／GPS组合导航系统中的应用
参考文献