多弧离子镀Ti-Al-Zr-Cr-N系复合硬质膜

　　《多弧离子镀Ti-Al-Zr-Cr-N系复合硬质膜》介绍了利用多弧离子镀技术，使用Ti-Al-Zr合金靶和纯Cr靶的组合方式，在W18Cr4V高速钢和WC—80％Co硬质合金两种基体上制备的Ti-Al-Zr-Cr-N系四元复合硬质膜，即（Ti，Al，Zr，Cr）N多元膜、（Ti，Al、Zr）N／（Ti，Al，Zr，Cr）N和CrN／（Ti，A1，Zr，Cr）N多元双层膜及TiAlZrCr／（Ti，AL，Zr，Cr）N多元梯度膜。同时还分析了薄膜的成分、组织和结构，研究了薄膜的显微硬度、膜／基结合力、耐磨性能和抗高温氧化性能。Ti-Al-Zr-Cr-N系薄膜刀具可以增大机械加工的切削用量，提高刀具的表面质量，改善切削环境，延长刀具的使用寿命，使其适用于高速切削、干切削及难加工材料的加工。《多弧离子镀Ti-Al-Zr-Cr-N系复合硬质膜》可供从事材料表面改性，特别是从事真空镀膜技术研究开发及实际生产应用的科技工作者阅读，也可供材料表面工程专业的本科生和研究生参考。

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1 硬质膜的研究进展
2 氮化物膜的应用现状
3 真空镀膜技术
4 镀膜工艺参数与研究方法
5 （Ti，Al，Zr，Cr）N多元单层膜的制备与微结构
6 （Ti，Al，Zr，Cr）N多元单层膜的性能
7 （Ti，Al，Zr）N／（Ti，A1，Zr，Cr）N多元双层膜的制备与微结构
8 （Ti，Al，Zr）N／（Ti，Al，Zr，Cr）N多元双层膜的性能
9 CrN／（Ti，Al，Zr，Cr）N多元双层膜的制备与微结构
10 CrN／（Ti，A1，Zr，Cr）N多元双层膜的性能-
11 TiAlZrCr／（Ti，Al，Zr，Cr）N多元梯度膜的制备与微结构
12 TiAlZrCr／（Ti，Al，Zr，Cr）N多元梯度膜的性能
13 结论与展望
参考文献