微电子器件芯片制造与设计

　　《微电子器件芯片制造与设计》以简洁的语言、明晰的思路系统地介绍了芯片制造技术和芯片设计技术。教材内容分三个项目，内容包括：项目一，微电子芯片制造中环境净化控制；项目二，微电子芯片制造技术，其中包含三极管的制造、MOS管的制造、集成电路芯片的制造三个任务；项目三，微电子芯片的设计，其中包含三极管的设计、MOS 管的设计、集成电路芯片的设计三个任务。

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项目一　微电子芯片制造的净化控制
任务1-1　厂房净化控制
任务1-2　微电子芯片生产用水净化控制
任务1-3　微电子芯片生产设备污染的净化控制
任务1-4　微电子芯片制造过程中对人员净化的控制
项目二　微电子器件芯片制造
任务2-1　三极管芯片的制造
任务2-2　MOS晶体管芯片的制造
任务2-3　双极型集成电路芯片的制造
项目三　微电子器件芯片设计
任务3-1　三极管芯片的设计
任务3-2　MOS管芯片的设计
任务3-3　集成电路芯片的设计
参考文献