谐振传感理论及器件

　　谐振式传感器是传感技术中非常重要的一个研究方向，在压力、温度、温度、加速度、质量流量、气体浓度、生物分子识别、力的测量以及磁场检测等方面都有应用。本书系统地总结了谐振式传感器的基本原理、设计实现方法以工程应用技术，包括谐振传感理论、谐振器的激励及检测方式、电子式与机电式谐振式传感器的工作原理及实现技术等，并对谐振式传感器的信号获取技术进行了全面的总结概括与深入分析。

　　冯冠平，研究员，博士生导师。生于1946年，江苏武进人。1970年毕业于清华大学精密仪器与机械学系，1981年获得清华大学工学硕士学位。历任清华大学精密仪器与机械学系主任、清华大学科技处处长、清华大学校长助理。现任清华大学校务委员会副主任，深圳清华大学研究院院长。　1978年开始，由电涡流传感器入手，开始从事谐振式传感器的研究。1982年，所承担的“QH-5非接触式电涡流调频式位移、振动测量仪”获得围家技术发明三等奖。1986年负责国家“七五”攻关项目“监视仪表与数据采集”的研究工作，先后主持了国家“八五”、“九五”攻关项目，国家发展计划委员会重大专项，国家科技部重大专项等多项科研课题。2003年，所主持研究的“石英数字式力传感器及系列全数字化电子衡器的研究与产业化”获国家技术发明二等奖。“非典”期间，发明了适用于大流量人群的红外温度测量仪，广泛用于中国及东南亚各国，获国家科技进步二等奖。 2004年以未，主要从事我国无线数字电视应用及产业化方面的研究。 历年来，共获得国家级奖励5项，并获得全国高等学校先进科技工作者称号、留学回国人员突出贡献奖、国务院特殊津贴等荣誉。　目前的研究领域为传感器与精密仪器。任全国高校传感技术研究会副理事长、仪器仪表学会电磁测量及信号处理分会副理事长、中国仪器仪表学会传感技术分会副理事长。在谐振式传感器的研究方向上，发表学术论文150余篇，获得发明专利多项。

1　系统的谐振与谐振式传感器
　1.1　谐振系统对外界参量的敏感特性
　1.2　谐振传感系统的组成
　1.3　几种常见的谐振式传感器
　参考文献
2　谐振传感系统的激励与检测
　2.1　谐振器的振动激励
　2.2　谐振器的振动检测
　2.3　谐振式传感器的激励与检测
　参考文献
3　电子式谐振传感器
4　石英晶体谐振器及其敏感特性
5　厚度剪切应变敏感型传感器
6　石英谐振式质量敏传感器
7　声表面波传感器
8　谐振式微传感器
9　谐振式传感器的数据获取