集成电路生产的优化调度：理论模型、算法与系统仿真

　　随着集成电路制造业在我国的大量兴起，集成电路生产线的优化调度问题已成为我国学术界和工程界研究的热点。因此，本书将相关的文献及作者近年来的研究成果加以整理，著书出版，希望能为广大业内人士提供指导与帮助。全书供分为8章。第1章是结论。第2章介绍了集成电路的生产过程和特点。第3章至第6章分别阐述了集成电路生产优化调度的内容和含义、理论模型、算法以及系统仿真。第7章介绍了课题组在集成电路生产优化调度方面的最新研究进展。第8章即最后一章是结束语。本书的读者对象包括高等学校相关领域的教师、研究生以及集成电路生产企业和有关研究单位的科技人员。

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1 绪论
1.1 调度理论的提出与发展
1.2 调度理论的研究方法
1.3 三种研究方法的比较
1.4 集成电路生产的优化调度
1.5 本章小结
2 集成电路的生产过程和特点
2.1 集成电路产业的发展
2.2 集成电路的制造工艺
2.3 硅片制造的 艺流程及制造设备
2.4 集成电路生产线的特点
2.5 本章小结
3 集成电路生产优化调度的内容和含义
3.1 投料控制
3.2 工件调度
3.3 集成电路生产线过程建模
3.4 性能分析
3.5 检测站设置
3.6 存在的问题
3.7 本章小结
4 集成电路生产优化调度的理论模型
4.1 几种典型模型概述
4.2 面向对象的混合PN模型（HOPN）
4.3 基于流平衡方程的静态模型
4.4 基于“最小时间单位”的动态模型
4.5 本章小结
5 集成电路生产优化调度的算法
5.1 集成电路生产线的性能指标分析
5.2 集成电路生产线的满意优化调度结构
5.3 自适应控制屋
5.4 优化层
5.5 高度层
5.6 本章小结
6 集成电路生产优化调度的系统仿真
6.1 集成电路生产线仿真系统的系统需求
6.2 集成电路生产线仿真系统的总体架构
6.3 仿真支撑层
6.4 集成电路生产线实体层
6.5 案例分析
6.6 基于仿真的集成电路生产线实时调度框架
6.7 本章小结
7 集成电路生产优化调度的最新研究进展
7.1 基于系统动力学的投料策略研究
7.2 基于群体智能的集成电路生产线调度研究
7.3 基于Agent的集成电路生产线集成调度研究
7.4 本章小结
8 结束语
参考文献