微惯性技术

微惯性元件是微惯性系统的核心部件；微陀螺仪作业敏感元件，主要基于哥氏效应的哥氏力为载体提供准确的方位、角速度和角位移等信号，完成对运动体的姿态控制；微加速度计的理论基础主要是牛顿惯性定律。本书介绍了硅微惯性技术的基础知识；硅微机械惯性仪表的原理、设计及组合技术：硅微惯性器件与系统的测试、标定及评价技术；基于硅微惯性器件的捷联式惯性导航与组合导航技术等。本书可作为高等院校惯性技术、测控技术与仪器及其相关专业的研究生、本科生的教学参考用书，也可供从事惯性技术及传感器与执行器的有关科技人员参阅。微惯性技术是在传统惯性技术基础上，随着MEMS等技术的发展而新兴和发展起来的一项多学科交叉的前沿技术，是惯性技术的一个主要发展方向。为适应更新教学内容和满足有关科技工作人员的需要，我们编著了本教材。本书系统地介绍了硅微惯性技术，内容主要包括：硅微惯性技术的基础知识；硅微机械惯性仪表的原理、设计及组合技术：硅微惯性器件与系统的测试、标定及评价技术；基于硅微惯性器件的捷联式惯性导航与组合导航技术。本书注重理论与工程实际的结合，在介绍理论的基础上，还融入了作者及其他研究者近年来的许多实际研究成果，理论与实践并重。本书可作为高等院校惯性技术、测控技术与仪器及其相关专业的研究生、本科生的教学参考用书，也可供从事惯性技术及传感器与执行器的有关科技人员参阅。

　　刘俊，男，1968年9月生，工学博士、教授、博士生导师，享受国务院政府津贴。现任中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室常务副主任。从事微惯性技术、动态测试及智能仪器技术研究。先后在国际、国内的重要学术刊物上发表相关学术论文37篇（被SCI、EI检索14篇），翻译出版《微传感器与执行器》、《微纳米技术的潜在应用前景》两本，获国家、省部级奖12项。获“全国五一劳动奖章”，“山西省模范教师”，“教育部新世纪优秀人才”等荣誉称号。

第一章 概述 第二章 惯性技术的相关知识 第三章 硅微机械惯性仪表 第四章 硅微性器件中的测试、标定及评价标准 第五章 捷联惯导与组合导航技术