微机械与微细加工技术

　　微机械被誉为21世纪最具代表性的技术之一。《微机械与微细加工技术》共分8章，结合作者近年来的研究工作，系统地介绍了微机械学科的起源、发展过程及当前国内外该学科的研究内容与成果，内容包括微机械理论基础、微机械材料与微结构、微细加工技术、准分子激光微细加工技术、微检测技术、微传感器、微致动器及其它微器件、典型微型电子机械系统与微机器人等等。《微机械与微细加工技术》可供从事微机械研究的科技人员使用，也可供相关学科的师生参考。

　　苑伟政，男，1961年生，博士，教授，博士研究生导师。现任西北工业大学现代制造工程研究所所长兼微机械与微细加工技术研究室主任，机械制造学科跨世纪学科带头人。主要从事微机械与微细加工技术、CAM与CIMS、难加工材料切削加工与精密加工技术等方面的研究工作。近年来主持承担了包括国家自然科学基金在内的24项研究课题，获省部级科技进步奖5项，发表研究论文40余篇，其中10余篇被工程索引（EI）收入。马炳和，男，1972年生，河北省辛集市人，博士，西北工业大学讲师。主要研究方向为微电子机械系统（MEMS）、微细加工技术、精密测试技术等。

绪论
第一章 微机械理论基础
1.1 微机械学
1.2 微动力学
1.3 微电子学
1.4 微光学
1.5 微流体力学
1.6 微热力学
1.7 微摩擦学
1.8 纳米生物学
1.9 分子装配技术
第二章 微机械材料与微结构
2.1 引言
2.2 微机械材料
2.2.1 硅材料
2.2.2 形状记忆材料
2.2.3 压电陶瓷／电致伸缩材料
2.2.4 超磁致伸缩材料
2.2.5 电流变体
2.2.6 磁流变体
2.2.7 有机聚合物材料
2.3 微结构与微型智能结构
2.3.1 主动控制结构类
2.3.2 被动阻尼结构类
第三章 微细加工技术
3.1 引言
3.2 硅微细加工技术
3.2.1 薄膜制备技术
3.2.2 微机械器件薄膜制备技术
3.3 光刻技术
3.3.1 光刻掩模制作工艺
3.3.2 曝光技术
3.3.3 刻蚀技术
3.3.4 表面薄膜的化学刻蚀加工
3.4 牺牲层技术
3.5 外延技术
3.6 高能束刻蚀技术
3.6.1 离子束刻蚀
3.6.2 等离子体刻蚀
3.6.3 激光刻蚀
3.7 LIGA技术
3.8 微细立体光刻技术
3.9 精密放电加工技术与超精密机械加工技术
3.10 微机械装配与集成
3.10.1 堆装技术
3.10.2 封装技术
3.10.3 集成制造技术
第四章 准分子激光微细加工技术
第五章 微检测技术
第六章 微传感器
第七章 微致动器及其它微器件
第八章 典型微型电子机械系统与微机器人