微纳米技术及其应用

　　本书在概述了微机电系统技术（MEMS）的发展背景、现状及应用前景的基础上，论述了MEMS基本理论基础，并对MEMS相关工艺做了详尽的介绍。书中分别介绍了MEMS应用，数种典型的物理传感器和化学传感器的工作原理及制造工艺；对各类微操作器／微执行器、微机械零件、微泵及微机电系统也做了比较详细的论述，之后介绍了与生物芯片相关的技术及纳米技术。本书可供微电子、机电一体化、精密仪器及仪表等专业研究与技术人员参考，也可作为相关专业高年级与研究生的教学参考书。

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总序
前言
第一章 绪论
1.1 MEMS的定义
1.2 国内外研究概况及展望
1.3 纳米技术及展望
第二章 MEMs基础理论
2.1 尺寸效应
2.2 微机械常用材料
2.3 微构造的机械特性
2.4 微构造的振动特性
2.5 微构造的热特性
2.6 摩擦磨耗的减少办法
2.7 微流路中液体的流动
2.8 微机械的驱动原理
2.9 超小型机械实现的障碍及对策
第三章 微机械制造技术
3.1 概j盔
3.2 体加工工艺
3.3 硅表面微机械加工技术
3.4 结合加工
3.5 逐次加工
3.6 LIGA技术
3.7 微机械加工技术中的微电子工艺和设备
3.8 本章小结
第四章 MEMscAD辅助分析和设计
4.1 ANSYS的主要技术特点
4.2 ANSYS使用中几个应注意的问题
4.3 ANSYS的分析步骤
4.4 微型电磁继电器受力及磁场分布的ANsYS模拟
4.5 ANsYS仿真分析的一些经验
4.6 Coventorware的主要技术特点
4.7 Coventorware分析的基本步骤
4.8 悬臂梁与硅基底间电容的计算和悬臂梁的受力分析
第五章 微传感器
5.1 传感器的基本物理效应
5.2 压阻效应与半导体应变传感器
5.3 电容式三维加速度计
5.4 振动式微陀螺仪
5.5 微型热式湿度传感器
5.6 微型光栅读码器
5.7 微型磁通门
第六章 微操作器
6.1 静电型微操作器
6.2 电磁型微操作器
6.3 热膨胀型操作器
6.4 压电型微操作器
6.5 微机械零件
第七章 微泵
7.1 压电陶瓷的振动解析
7.2 单向流动原理及泵流量
7.3 微阀机构
7.4 压电微泵
第八章 微机电系统
8.1 微机电系统的特点
8.2 微机电系统所面临的课题
8.3 微机电系统介绍
第九章 生物芯片
9.1 概述
9.2 生物芯片中常用的几种检测原理
9.3 生物芯片加工技术
9.4 生折芯片
9.5 结论
第十章 纳米技术
10.1 概述
10.2 纳米材料
10.3 纳米级加工技术
10.4 纳米测量技术
10.5 结束语
参考文献