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等离子体诊断（第一卷 放电参量和化学）
作者：（美）奥切洛（Auciello，Orlando），（美）弗拉姆（Flamm，Daniel L.）编著；郑少白等译
出版社：电子工业出版社
出版时间：1994-03-01
ISBN：9787505321748
定价：¥25.00
内容简介
本卷着重于等离子体工艺中的各种诊断技术介绍，包括：放电光源中的等离子诊断、等离子体质谱学、微波诊断等7章。
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