书籍详情
金属-半导体界面欧姆接触的原理、测试与工艺
作者：吴鼎芬，颜本达编著
出版社：上海交通大学出版社
出版时间：1989-01-01
ISBN：9787313004642
定价：¥1.05
内容简介
本书较详尽的叙述了集成电路中欧姆接触的形成原理，测量方法和制造工艺、分析了欧姆接触在形成和使用过程中发生的界面冶金反应及其对接触电阻的影响等。
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