书籍详情
半导体生产净化技术：高纯水的制造及废水、废气的处理
作者：赵玉玮，陈美智编译
出版社：科学出版社
出版时间：1987-01-01
ISBN：9787030000040
定价：¥2.00
内容简介
本书介绍了半导体生产中大量使用的洗涤用水-高纯水的制备方法、纯度测试及高纯水系统的设计，介绍了从半导体工厂排放出来的废水及有害气体的情况及其处理方法。
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