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集成电路掩膜技术

集成电路掩膜技术

作者：埃利奥特著（Elliott，D.J.）；宋柏泉等译

出版社：上海交通大学出版社

出版时间：1989-01-01

ISBN：9787313009654

定价：¥3.50

内容简介

　　本书阐述了制备集成电路掩膜的全过程，包括掩膜版玻璃基板制备、图形设计和数据生产、涂敷、刻蚀成像、图形测量、质量控制、生产技术等。

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