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超精密加工技术

超精密加工技术

作者：庞滔，郭大春，庞楠编

出版社：国防工业出版社

出版时间：2000-08-01

ISBN：9787118021097

定价：¥35.00

内容简介

　　全面系统介绍超精密加工技术，如超精密加工基础、超精密切削、磨削、研磨抛光、特种加工以及金属、硬脆非金属和半导体基片的超精密加工。

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