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微电机结构工艺学

微电机结构工艺学

作者:张子忠,王铁成编著

出版社:哈尔滨工业大学出版社

出版时间:1988-11-01

ISBN:9787560300801

定价:¥21.50

内容简介
  本书主要介绍微电机的结构、制造工艺和结构工艺性等问题。
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