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超大规模集成电路工艺学

超大规模集成电路工艺学

作者:(美)史西蒙(Sze,S.M.)主编;史常忻译

出版社:上海交通大学出版社

出版时间:1987-10-01

ISBN:9787313000460

定价:¥4.80

内容简介
  本书讨论了硅集成电路的工艺原理,包括晶体生长和片子制备,外延介质和多晶硅淀积等。
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