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超大规模集成电路工艺学
作者:(美)史西蒙(Sze,S.M.)主编;史常忻译
出版社:上海交通大学出版社
出版时间:1987-10-01
ISBN:9787313000460
定价:¥4.80
内容简介
本书讨论了硅集成电路的工艺原理,包括晶体生长和片子制备,外延介质和多晶硅淀积等。
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