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多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用

多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用

作者:王阳元,(美)T.I.卡明斯(T.I.Kamins)编著

出版社:科学出版社

出版时间:1988-08-01

ISBN:9787030003089

定价:¥7.50

内容简介
  本书介绍了多晶硅薄膜的性质及其在MOS和双极型集成电路中的应用。
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