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金属-绝缘体-半导体微电子学系统的物理基础
作者:(苏)В.Г.里托夫钦科(В.Г.Литовченко),(苏)А.П.戈尔班(А.П.Горбань)著;黄振岗,叶汝求译
出版社:科学出版社
出版时间:1988-10-01
ISBN:9787030000835
定价:¥6.10
内容简介
本书探讨了制备绝缘体-半导体、金属-绝缘体-半导体型层状结构的各种方法,以及对其参数和电学性质的研究,并总结了对MIS系统非平衡过程的各种测试和分析方法等内容。
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