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半导体器件制造工艺常用数据手册

半导体器件制造工艺常用数据手册

作者：刘秀喜，高大江编

出版社：电子工业出版社

出版时间：1992-09-01

ISBN：9787505316614

定价：¥40.00

内容简介

　　本手册包括：物理常数、常用元素、杂质及扩散源、电热材料、工艺安全、管壳外形标准化等

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