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半导体材料生长技术
作者：（美）唐（Tsang，W.T.）主编；江剑平等译
出版社：广东科技出版社；清华大学出版社
出版时间：1993-10-01
ISBN：9787535911353
定价：¥28.80
内容简介
本册共6章，详细说明各种Ⅲ-V族化合物半导体的外延生长技术和材料缺陷，讨论了液相外延、分子束外延、常压和低压金属有机化学汽相沉积，以及卤化物和氯化物输运汽相沉积等各项技术。
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