微细加工技术

　　本书介绍了利用电子束、离子束、光子束、原子束、等离子体、超声等手段，对不同材料进行各种光刻、刻蚀、制膜、掺杂、退火和材料改性及切削、焊接、打孔等微细加工的原理、方法和工艺过程等。

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