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机电产品微细加工技术与工艺

机电产品微细加工技术与工艺

作者：胡耀志等编著

出版社：广东科技出版社

出版时间：1993-02-01

ISBN：9787535909572

定价：¥5.40

内容简介

　　本书从机电一体化的角度，论述了精密机械和微电子技术这两方面的微细加工技术与工艺，介绍了集成电路的生产技术、工艺原理和加工方法。

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