大规模集成电路工厂洁净技术

　　本书阐述了当前大规模集成电路生产工艺对洁净技术的要求和今后发展方向、超级洁净室的设计、施工技术问题和应采取的措施、辅助设施超纯水、药品、废水处理和高纯气体等最新应用技术以及洁净室运行管理问题。

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