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集成电路工艺基础

集成电路工艺基础

作者：王阳元等编著

出版社：高等教育出版社

出版时间：1991-01-01

ISBN：9787040033144

定价：¥7.25

内容简介

　　本书主要内容有：硅晶体结构，扩散、离子注入、外延、氧化、化学汽相淀积、光刻、刻蚀等十二章。

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