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微电子生产工艺实用手册

作者：王家源，刘长恩主编

出版社：电子工业出版社

出版时间：1992-06-01

ISBN：9787505315273

定价：¥10.50

内容简介

　　本书共收入了微电子产品制造技术、生产工艺、生产装置、成套设备、检测仪器、原辅材料、辅助设施、工具及零部件等方面的词条900余条，并附汉-英和英-汉词条索引。

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