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微电子技术

微电子技术

作者：王守觉等编著

出版社：上海科学技术出版社

出版时间：1994-01-01

ISBN：9787532333523

定价：¥10.60

内容简介

　　内容包括：微电子学的基本原理、集成电路的微细图形加工技术、微电子技术加工工艺、微电子技术的应用及其发展前景。

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