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集成电路制造技术:原理与实践
作者:庄同曾等编
出版社:电子工业出版社
出版时间:1987-11-01
ISBN:9787505301740
定价:¥7.65
内容简介
本书是一本较全面地介绍集成电路制造技术的书籍,共分16章,包括单晶制备,芯片制造,化学气相淀积,完美晶体工艺等。
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